В статье рассматриваются способы измерения геометрических характеристик глубоких микроотверстий. Отмечается насущная необходимость высокоточных измерений непосредственно в цеху предприятия, следствием чего является необходимость создания установок для измерения микрорельефа, обладающих высокой скоростью измерений и разрешением, низкой погрешностью и небольшими размерами и весом. Далее излагаются особенности контактных зондовых измерений и трудности при их реализации. Рассматривается устройство созданных зондовых измерительных установок на основе эластичного механизма. В заключении отмечается, что контактные зонды для измерения микроструктур выпускаются серийно, и могут быть использованы для измерения микроотверстий в промышленном производстве.
